実験、評価用ダミー・モニターウェーハを販売しています。
各種仕様、サイズのウェーハをご用意しております。
納期は3日から14日を目度としますが、口径、数量により若干お時間をいただく場合がございます。
モニターウエーハ
口径、厚み、ドーパント、酸化膜等ご指定下さい。比抵抗と厚さの範囲の拡大を極力お願い致します。
ダミーウエーハ
口径、厚さ以外のスペックは不問。また、ダスト不問か、ダストフリーはご指定下さい。 （ウエーハ特性は納品時に表示します。）
| ウェーハ 標準仕様 | ||||||
| 口径 | 3“（76.2mm） | 4“（100mm） | 5“（125mm） | |||
| 6“（150mm） | 8“（200mm） | 12“（300mm） | ||||
| 導電型＆ ドープ材 |
N-type | Phosphorus | ||||
| Sb（Antimony) | ||||||
| As（Arsenic) | ||||||
| P-type B(Boron） | ||||||
| オリエンテーション | （100）（111）（110） | |||||
| 比抵抗 | 1 ～100 ΩCm | |||||
| 厚み／公差(μm) | 3“ | 4“ | 5“ | 6“ | 8 | 12“ |
| 380 | 525 | 625 | 675 | 725 | 775 | |
| 25 | 20 | 20 | 20 | 20 | 25 | |